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日本EUV 移机及支架改造工事3
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日本EUV 移机及支架改造工事

原有设备架设EUV系统,提升产品良率及效率。目前支架及相关电路变更工事。
EUV原为韩国设备所搭配,目前客户将此EUV移至日本洗净设备上,需进行支架及电系之强化作业。

原有设备架设EUV系统,提升产品良率及效率。目前支架及相关电路变更工事。
EUV原为韩国设备所搭配,目前客户将此EUV移至日本洗净设备上,需进行支架及电系之强化作业。

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经由分析后:发现以下的问题。请参考应力图。

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原支架搭新EUV后变型问题发生。故设计辅助支架。

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新型设计如下图:
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原厂委托设计变更(软体、硬体、电系) 1328391