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日本EUV 移機及支架改造工事 3
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日本EUV 移機及支架改造工事

原有設備架設EUV系統,提升產品良率及效率。目前支架及相關電路變更工事。
EUV原為韓國設備所搭配,目前客戶將此EUV移至日本洗淨設備上,需進行支架及電系之強化作業。

原有設備架設EUV系統,提升產品良率及效率。目前支架及相關電路變更工事。
EUV原為韓國設備所搭配,目前客戶將此EUV移至日本洗淨設備上,需進行支架及電系之強化作業。

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經由分析後:發現以下的問題。請參考應力圖。

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原支架搭新EUV後變型問題發生。故設計輔助支架。

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新型設計如下圖:
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原廠委託設計變更(軟体、硬体、電系) 1328391