日本EUV 移機及支架改造工事
原有設備架設EUV系統，提升產品良率及效率。目前支架及相關電路變更工事。
EUV原為韓國設備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗淨設備上，需進行支架及電系之強化作業。
原有設備架設EUV系統，提升產品良率及效率。目前支架及相關電路變更工事。
EUV原為韓國設備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗淨設備上，需進行支架及電系之強化作業。
經由分析後：發現以下的問題。請參考應力圖。
原支架搭新EUV後變型問題發生。故設計輔助支架。
新型設計如下圖：
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