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日立露光设备之恒温送风机之 冷媒使用压力监控上抛系统

日立露光设备之恒温送风机之 冷媒使用压力监控上抛系统

日立露光设备之恒温送风机之 冷媒使用压力监控上抛系统

使用电子式压力监控AD送讯方式,搭配RS485与客户主机进行讯号对传的方式进行压力值的监控。

使用更少的人力,在异常时,系统发警告音通知线上人员进行排除,同时也会把讯息发给主系统。(含压力值)

更方便管理及规划。

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