首頁 產品及相關服務 客制化設備開發(評估後視情況接案 液晶面板相關改造實績類 日立露光設備之恒溫送風機之 冷媒使用壓力監控上拋系統 50 日立露光設備之恒溫送風機之 冷媒使用壓力監控上拋系統 日立露光設備之恒溫送風機之 冷媒使用壓力監控上拋系統使用電子式壓力監控AD送訊方式,搭配RS485與客戶主機進行訊號對傳的方式進行壓力值的監控。使用更少的人力,在異常時,系統發警告音通知線上人員進行排除,同時也會把訊息發給主系統。(含壓力值)更方便管理及規劃。 1131080