韓商 電美士(DMS)基板檢測失靈時,基板位置檢測系統
電洽
D、相關機能之擋片及停片以基板最小損失為主,但
損失不可能為零。
此改造為外掛新增一組偵測設備,並無使用與修改原洗淨機台
內部sensor及PC Based程式。除LD/UL UNIT外,於各洗淨UNIT
內前後各裝設1顆光纖sensor作為判斷基板位置所用(共4顆)。
當偵測到基板移動時間超過設定值時,將觸發原洗淨機內的重
警報使機台停止運轉。以便提早預防基板追片發生。
當因基板移動異常觸發的重警報使機台停止時,基板移動異常
的alarm訊息將顯示於外掛人機介面上面,而非原洗淨機的螢
幕上。