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洗淨機、現像機洗淨用自動供液台車（馬達型）目前動作說明如下：1、一次上 4桶後，關閉安全門。按起動後，以分桶的方式打入清潔區（DEV）。2、此設備有漏液SENOSR，用來偵測漏液的發生。會立即停止。3、完成一次的動作（四桶為一桶一桶打），即發警報告知操作人員。4、分桶打的原因為，電動PUMP，只要打空時，即會打到空氣，此時系統會自行關

原有設備架設EUV系統，提升產品良率及效率。目前支架及相關電路變更工事。
EUV原為韓國設備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗淨設備上，需進行支架及電系之強化作業。