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商品介紹
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液晶面板相關改造實績類
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原廠委託設計變更(軟体、硬体、電系) 4
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洗淨機、現像機洗淨用自動供液台車(馬達型)

洗淨機、現像機洗淨用自動供液台車(馬達型)目前動作說明如下:1、一次上 4桶後,關閉安全門。按起動後,以分桶的方式打入清潔區(DEV)。2、此設備有漏液SENOSR,用來偵測漏液的發生。會立即停止。3、完成一次的動作(四桶為一桶一桶打),即發警報告知操作人員。4、分桶打的原因為,電動PUMP,只要打空時,即會打到空氣,此時系統會自行關

日本EUV 移機及支架改造工事

原有設備架設EUV系統,提升產品良率及效率。目前支架及相關電路變更工事。
EUV原為韓國設備所搭配,目前客戶將此EUV移至日本洗淨設備上,需進行支架及電系之強化作業。