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液晶面板相关改造实绩类
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原厂委托设计变更(软体、硬体、电系)4
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洗净机、现像机洗净用自动供液台车(马达型)

洗净机、现像机洗净用自动供液台车(马达型)目前动作说明如下:1、一次上 4桶后,关闭安全门。按起动后,以分桶的方式打入清洁区(DEV)。2、此设备有漏液SENOSR,用来侦测漏液的发生。会立即停止。3、完成一次的动作(四桶为一桶一桶打),即发警报告知操作人员。4、分桶打的原因为,电动PUMP,只要打空时,即会打到空气,此时系统会自行关

日本EUV 移机及支架改造工事

原有设备架设EUV系统,提升产品良率及效率。目前支架及相关电路变更工事。
EUV原为韩国设备所搭配,目前客户将此EUV移至日本洗净设备上,需进行支架及电系之强化作业。