洗净机、现像机洗净用自动供液台车（马达型）

洗净机、现像机洗净用自动供液台车（马达型）目前动作说明如下：1、一次上 4桶后，关闭安全门。按起动后，以分桶的方式打入清洁区（DEV）。2、此设备有漏液SENOSR，用来侦测漏液的发生。会立即停止。3、完成一次的动作（四桶为一桶一桶打），即发警报告知操作人员。4、分桶打的原因为，电动PUMP，只要打空时，即会打到空气，此时系统会自行关

日本EUV 移机及支架改造工事

原有设备架设EUV系统，提升产品良率及效率。目前支架及相关电路变更工事。
EUV原为韩国设备所搭配，目前客户将此EUV移至日本洗净设备上，需进行支架及电系之强化作业。

物料卡控系统专案