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原厂委托设计变更（软体、硬体、电系）

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原有设备架设EUV系统，提升产品良率及效率。目前支架及相关电路变更工事。
EUV原为韩国设备所搭配，目前客户将此EUV移至日本洗净设备上，需进行支架及电系之强化作业。